Горячие новости

В Китае создали суверенный твердотельный источник света для EUV-литографов, превосходящий ASML

EUV-литографы компании ASML в качестве основы для источника света используют газовые лазеры CO₂. Они достаточно мощные, но при этом громоздкие и малоэффективные по сравнению с...