Китайцы создали EUV-сканер на гармониках, который в тысячи раз компактнее «шкафов» ASML
Китайская компания Hefei Lumiverse Technology представила первый в мире настольный источник экстремального ультрафиолетового излучения на основе генерации высоких гармоник, который уже используется на производстве для...